使用四點探針臺,機臺的手臂可快速更換模塊式探針頭,探針頭將針尖間距及壓力參數(shù)固定,當探頭的探針點在基板上時, 附有內(nèi)藏彈簧的探針會將四根針同時收縮,在固定的下壓應力使測量的穩(wěn)定性增加,外搭儀器Keithley 2400 /Keysight 2900可做測量.在制程改進方面只要將V/I這個數(shù)值彼此的位置互相比較或跟上一次V/I比較為參考,不需要再乘上一些其它系數(shù)做太復雜的演算.可以選購奕葉的軟件使操作簡單化及自動化,適用于半導體、太陽能、OLED、微機電、燃料電池等各式產(chǎn)業(yè)。

一、規(guī)格

l?探針間距：40mil，62.5 mil

l?探針壓力：80g

l?探針材質(zhì)：BeCu Tungsten Carbide

l?高溫選配：High Temp. 200 ℃ ??

l?卡盤尺寸可選擇：6英寸、8英寸、12英寸；

l?材料：特氟龍

l?探針升降長度：10毫米

l?探針臺Z軸升降精度為：1微米

l?探針材質(zhì)：碳化鎢、鈹銅合金

l?探針距離：40mil、50mil、62.5mil

l?彈簧探針力度：45grams、85grams、180grams

l?探針直徑：40.6微米?

l?尺寸：220mm長x420mm寬x250mm高

l?重量：20Kg

二、特點

l?可垂直上下移動

l?特殊恒定負載的彈簧探針

l?恒定的探針間距

l?可保持極大程度的重復性測試

l?探頭方便更換

l?探針臺頂部可調(diào)整Z軸移動

l?穩(wěn)固的連接線在探針臺后面

l?轉(zhuǎn)接頭可選擇：Banana/ BNC/ Triaxial Female

l?卡盤可快速移動

l?可以配合加熱吸盤使用

l?卡盤尺寸可以選擇：6英寸、8英寸、12英寸

l?氣動的SR-4可用開關控制升降

三、應用

l?薄膜偏電阻?Sheet Resistivity

l?體積偏電阻?Volume Resistivity

l?導電率Doping Quality

l?金屬膜厚Metalization Thickness

l?P/N極性P/N Typing

l?電流電壓I-V特性 V/I Measurement

四、其他高級應用

l?高阻低電流

l?溫度環(huán)境下量測RT~200℃

l?超高溫RT~1200 ℃

l?無氧環(huán)境下

l?微小間距最小10 micron

l?大面積尺寸基板1200mm×900mm

l?儀器結(jié)合軟件