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IXION 193 SLM 激光器
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IXION 193 SLM系統(tǒng)是一種單頻全固態(tài)激光器，用于光學(xué)計(jì)量、193nm步進(jìn)光學(xué)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制。其小于80MHz的頻譜帶寬接近其理論傅里葉極限。
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IXION 193 SLM系統(tǒng)是一種單頻全固態(tài)激光器，用于光學(xué)計(jì)量、193nm步進(jìn)光學(xué)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制。其小于80MHz的頻譜帶寬接近其理論傅里葉極限。
該激光器的中心波長(zhǎng)可在185至194nm范圍內(nèi)定制，并可在購(gòu)買(mǎi)時(shí)預(yù)先配置為固定波長(zhǎng)。
作為高精度光譜儀的一種選擇，系統(tǒng)具有0.001 nm絕對(duì)光譜精度。這可以最大限度地控制激光的光譜調(diào)諧。
IXION 193 SLM 應(yīng)用
- 193 nm 計(jì)量
- 光譜儀校準(zhǔn)
- 干涉度量
- 準(zhǔn)分子激光器種子源
IXION 193 SLM
| 波長(zhǎng) | 193.368 nm |
| 平均功率 | 10 mW |
| 脈沖寬度 | typ 8-12 ns |
| 單脈沖能量 | 1.6 μJ |
| 重復(fù)頻率 | 1-15 kHz |
| 光斑質(zhì)量 | M2 < 1.6 |
| 光譜帶寬 | < 80 MHz |
| 光譜可調(diào)諧性 | > 10 pm |
| 相干長(zhǎng)度 | > 2 m |
| 脈沖穩(wěn)定性 | σ < 2.5 % |
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