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EXCITE 系列激光器

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EXCITE 系列是新一代的單頻激光器，多種波長(zhǎng)可選（1064,532,355,266 nm）。光譜帶寬小于50MHz，接近其理論帶寬的傅里葉極限。

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EXCITE 系列激光器

EXCITE 系列是單頻全固態(tài)激光器系統(tǒng)，用于深紫外領(lǐng)域，如晶片檢測(cè)，光譜儀校準(zhǔn)和干涉測(cè)量應(yīng)用。光譜帶寬小于50MHz，接近其理論帶寬的傅里葉極限。

激光器在其衍射極限下提供了短脈寬，M2＜1.6，重復(fù)頻率1-30kHz。在波長(zhǎng)為266nm下平均輸出功率超過150mW，在波長(zhǎng)為355nm下平均輸出功率超過400mW。在堅(jiān)固的工業(yè)設(shè)計(jì)中具有穩(wěn)定的脈沖軌跡和超過3.0m的相干長(zhǎng)度

EXCITE Series 應(yīng)用

晶圓檢測(cè)
光致發(fā)光
干涉測(cè)量法
拉曼光譜
全息術(shù)
光譜儀校準(zhǔn)
計(jì)量
直接干涉光刻技術(shù)

EXCITE 266 參數(shù)

波長(zhǎng)	266 nm
光譜寬度	< 60 MHz
相干長(zhǎng)度	> 2.5 m
平均功率	> 150 mW
脈沖寬度	10-15 ns
單脈沖能量	> 12.5 μJ
重復(fù)頻率	1 – 30 kHz
M2	< 1.7
脈沖穩(wěn)定性	σ < 1.5%

EXCITE 355 參數(shù)

波長(zhǎng)	355 nm
光譜寬度	< 50 MHz
相干長(zhǎng)度	> 3 m
平均功率	> 500 mW
脈沖寬度	14-18 ns
單脈沖能量	> 40 μJ
重復(fù)頻率	1 – 30 kHz
M2	< 1.3
脈沖穩(wěn)定性	σ < 1.0%

EXCITE 532 參數(shù)

波長(zhǎng)	532 nm
平均功率	2.5 W
脈沖寬度	15-20 ns
單脈沖能量	160 μJ
重復(fù)頻率	1 – 30 kHz
M2	< 1.2
光譜寬度	< 50 MHz
相干長(zhǎng)度	> 3 m
脈沖穩(wěn)定性	σ < 0.8 %

EXCITE 1064 參數(shù)

波長(zhǎng)	1064 nm
平均功率	6 W
脈沖寬度	20-30 ns
單脈沖能量	400 μJ
重復(fù)頻率	1 – 30 kHz
M2	< 1.2
光譜寬度	< 30 MHz
相干長(zhǎng)度	> 5 m
脈沖穩(wěn)定性	σ < 0.3 %

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